【高工LED旗下《LED研究评论》1月刊(总第49期)文/赵辉】天龙光电(300029)旗下子公司中晟光电设备(上海)有限公司(以下简称“中晟光电”)董事长兼首席执行官陈爱华博士在2013高工LED大会告诉《高工LED》记者，“但2014年是国产MOCVD市场化最为关键的时期，毫不夸张地说是考验生死存亡的一年。”
近日， 国内外延芯片大厂华灿光电(300323.SZ)发布公告称,公司接到国家工信部“采购国产MOCVD设备开发/产业化超高亮度LED”项目补贴款600万元。
而该项目正是由中晟光电提供的国产MOCVD，这也预示着我国自主研发的LED上游高端核心设备国产化步伐正在日益加快，并已经开始得到外延芯片企业的认可。
自2009年科技部推广“十城万盏”以来，国内LED行业得到了飞速发展，整个产业链尤其是上游外延芯片领域的投资成几何倍数的增长，而这其中的绝大部分都用于进口MOCVD设备。
据高工LED产业研究所(GLII)统计数据显示，截止2012年底，国内MOCVD设备保有量达到了917台，基本上都是由德国Aixtron和美国Veeco两家企业生产。大量的MOCVD设备购置补贴都被国外巨头收入囊中。
随着半导体照明应用的迅速发展，对过剩产能的消化、兼并和淘汰，MOCVD设备市场在2014年将迎来复苏和新一轮的投资增长，为国产MOCVD提供了极好的市场契机。如果不能在2014年通过市场和多家客户大规模生产的验证和认可，国产MOCVD将失去LED照明发展周期的市场机遇而难于生存。
陈爱华表示，作为LED产业大国以及未来的强国，我们必须要有自己的关键核心设备，中晟光电有信心有也有能力为MOCVD国产化做出自己的贡献。
自主创新标杆
“2012年12月12日，中晟光电成功发运了中国首台具有世界先进水平的大型国产MOCVD设备给客户。”陈爱华自豪得表示，这一天是一个百年难遇的“日子”，对中晟光电来说也是一个具有特殊意义的日子。这台设备目前运行很稳定。
曾在在全球最大的半导体设备公司美国应用材料公司任职，从最基层的工程师做到事业部总经理高位的陈爱华深知高端核心装备对一个产业发展所具有重大深远的意义。
中国作为全球做大LED生产国，MOCVD设备保有量全球***，而作为整个产业链最关键的MOCVD设备却需要全部依靠进口，核心技术长期被跨国企业垄断。陈爱华看到了其中的机遇，也感受到了责任。
回国创业，制造出中国自己的MOCVD设备就成为陈爱华的选择。2011年，中晟光电设备(上海)有限公司最终落户上海张江高科技园区。
“中晟成立后，仅仅用了10个月的时间，就实现了MOCVD生产机型下线，又仅用了10个月时间，就完成了设备的改进优化和产业化生产的准备。”陈爱华自信的说，就在去年年底，我们自行研发生产出了中国首台具有世界先进水平的国产MOCVD设备ProMaxyTM。
陈爱华表示，设备研发不是一件容易的事情，投资大、困难多、周期长，需要具有较强的前瞻性以便于后期的升级改造，尤其对于技术含量高、工艺复杂的MOCVD设备。但由于公司有一批具有20多年半导体设备研发经验的专业团队，才能高效创新地研发制造出一款堪称标杆的设备。
标杆、创新、团队和高效恰恰就是中晟光电所特有的企业文化，这一文化已经深深烙在每个中晟人心里，也凝聚在每台由中晟研发制造的MOCVD设备上。
国产化尚需政策与行业支持
“中晟光电的MOCVD能够为客户创造最低单片制造成本。目前已经能够生产稳定的2寸66片机和4寸17片机，产能相较于进口设备可以提高20%左右，而单片气体消耗可以降低30%，单片成本最少可降低20%。”陈爱华博士表示，国产MOCVD设备在技术、设计、性能上的优势已经凸显，但后续依然需要市场的大规模验证。
陈爱华介绍说，目前公司MOCVD设备已经拥有华灿光电、圆融光电等客户。由于设备研发生产成本高，公司采取的是以销定产策略。
据了解，中晟光电的MOCVD 具有四个核心的差异竞争力：具有目前世界上最高的系统产能；具有最低的外延生产成本；具有良好的波长均匀性；具有大规模外延生产所需的各项关键性能。这些核心竞争力是着重解决目前大规模LED生产急需解决的关键问题，尤为重要的是，这些核心差异竞争力都具有自主创新的知识产权。
但陈爱华深知，国产MOCVD市场化面临着巨大挑战：首先MOCVD设备太关键而且价格高，加上设备被国外厂商垄断，他们与客户具有长期的合作关系，客户不轻易采用新设备；其次，对国产MOCVD持怀疑和犹豫的态度，验证新设备又需要花费大量资金、人力及时间，加上国外垄断厂商的降价销售和地方政府补贴，国产MOCVD又失去成本优势，导致国产MOCVD市场化以致企业生存的困境。
据记者了解，目前美国Veeco产MOCVD单腔机(单个反应腔)售价在700多万元，相比2010年的1500万元-2000万元的价格大幅下滑。而Veeco也因此今年三季度出现了亏损。
“价格战目前已经没有太大的意义，也不具备多少降价空间，我们要做的就是提升设备性能，帮助下游客户降低单片外延成本。”陈爱华认为，MOCVD设备国产化的前提是国产MOCVD自身性能要过硬，能切实满足产业发展的需要，为客户带来更高的核心价值。
与此同时，MOCVD国产化也需要
国家政策扶持落到实处以减轻客户和国产MOCVD厂商的资金负担，同时也需要客户从产业及企业健康发展，成本控制和供应商管理的战略布局出发，愿意验证国产MOCVD。
目前国内多个城市都出台了针对LED上游外延芯片企业购置MOCVD设备的巨额补贴，以前这些占到设备价格一半的补贴都被国外企业所获得的。陈爱华希望政府能出台更多政策支持MOCVD设备的国产化，比如对购买国产MOCVD的设备给予补贴。
“在MOCVD设备国产化的路途中，我们在不断提高性能以满足生产需要的同时，需要在稳定性、低成本以及良好的后期升级改造等售后服务方面不断接受市场的检验与认可。”陈爱华博士表示，有了国家的政策支持和整个产业的认可，MOCVD国产化一定能顺利实现。
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