【来源：高工LED旗下《LED研究评论》1月刊(总第49期)文/龙宗慧】俗话说“工欲善其事，必先利其器。”任何技术的革新都需要设备的支撑。高端装备始终处于价值链最顶端和产业链的核心环节，决定着整个产业链的综合竞争力。近30年来，中国装备制造业取得了长足的发展，从总量来看，已经处于世界领先地位。但是碍于高昂的价格，高端装备的前期推广并不是一番风顺，特别在LED芯片制造行业。
中晟光电首席技术官兼副总裁张伟曾公开表示，他们的国产MOCVD设备已经通过内部技术认证，但推广却十分艰难。芯片厂需要长期的测试数据才愿意考虑试用，但没有芯片厂愿意试用又何来数据，高端装备的推广显然陷入死循环。
中晟光电的经历也曾经发生在北方微电子身上。2002年他们拿到国家“十五”863计划集成电路制造装备重大专项“100nm高密度等离子刻蚀机”，正式开始高端装备的研发并致力于将其国产化，但让客户接受并获得批量订单用了近十年的时间。
“设备做出来只是***步，给客户建立信心才是高端装备推广最难的事情。”北方微电子总裁赵晋荣认为。
推广首拼“信心”
“买咖啡或许我们连价格都不问就直接购买，但是买咖啡机就不一样了。”赵晋荣认为高端装备就是咖啡机，本身价格贵又是企业必须计提折旧的耐用品，能用只是前提，让客户掏钱买、买多少，主要看你给客户的“信心”。
信心何来？规模、产业布局、服务体系，“高端装备价格昂贵，客户最担心的是折旧还没折完，你没了。”
高端装备的竞争或许并不是表面上我们看到的设备本身的竞争，也不是设备之下技术的竞争，最终竞争层面必须回归到“企业”自身。“高端装备”本身就是个“烧钱”的大工程，高端工艺装备的卖价都在百万级、千万级，前期研发投入就非常考验企业资金实力。设备送到企业试产，大多只能收个预付款，显然还不够成本。从试产到客户买单又需要很长一段时间，特别是新工艺设备。
“验收阶段考验的是技术，卖一台砸一台企业肯定做不下去。”赵晋荣认为，当设备通过验收之后，后续“信心”大考就来了。售后服务期间，硬件、软件、工艺都要持续升级，此时你的成本肯定没有收回来，这个坎很难过。这个时候就开始拼“信心”了，拼客户对你的信心，还有投资商对你的信心。“国家对我们的扶持是有限的，政府扶持的前提也需要我们的技术首先能给政府信心。”
赵晋荣认为，政府扶持高端装备制造业的意图很明显，希望以此提升国内工艺技术水平，降低下游制造业的成本，提升国际竞争力。北方微电子进入刻蚀机行业之前，高端刻蚀机一直被国外公司所垄断。它们单反应腔的价格几乎在800-900万元，迫于国产设备的竞争压力，目前价格几乎下降了2/3，这么算下来100台设备便可为国家节省数亿元。
“希望”在前方
当前中国高端装备核心技术大多还掌握在国外大厂手中。2012年5月，工业和信息化部印发了《高端装备制造业“十二五”发展规划》发展目标一栏明确表示，到2015年我国高端装备制造业销售收入超过6万亿元，在装备制造业中的占比提高到15%，工业增加值率达到28%。
政府的扶持和行业的需求是国产高端装备发展的契机，国产装备最大的优势在于性价比和售后服务本土化所带来的便捷。“如果国产设备卖的比别人贵，那就不要做了。”赵晋荣表示。
目前国内只有北方微电子一家研发LED芯片制造的ICP刻蚀机，他们所面临的竞争对手自然是国际对手，它们往往拥有几十年的技术积累。
但是高端装备的竞争我们不能只看到困难，更应该看到“希望”。提供更好的售后服务和技术支持是国产高端装备能够持续发展的底牌，当然前提要看技术。赵晋荣表示，北方微电子给客户的承诺是“双24小时”，即客户出现问题24小时工程师到现场，所有原厂备品备件24小时到现场，这对于国外企业来说不可能实现。
据了解，很多国外大厂在国内只有销售和客服工程师，一旦出现大的技术问题，原厂研发工程师从国外飞过来肯定远远超过24小时，一来一回，企业还必须从工程师出发开始计费，报个价或许你就需要支付超过2000美金。很多企业抱怨国外设备“买的起，用不起”不是没有道理的。
“ICP刻蚀机对芯片性能至关重要，只要客户提出要求我们都会进行技术指导。”赵晋荣表示，本土化的服务，让更多的企业选择北方微电子。刻深槽、调整电极的角度，客户都会找他们探讨，他们也都会上门服务，而这一切都是不收费的，前提是使用北方微电子的设备。此外，他们还为客户提供三年免费软件升级和设备维护培训。
盈利靠技术升级
“和其他行业一样，刻蚀机的价格也在逐年下降。”赵晋荣表示，如果仅靠芯片厂扩产拉动刻蚀机的销售一定不能支撑北方微电子的营收，盈利就必须靠技术的更新换代，所以设备厂必须走在技术潮流的前面。
ICP刻蚀机的主要功能是PSS图形衬底刻蚀和芯片电极刻蚀，今年只有少数几家芯片厂扩产，对刻蚀机的拉动有限。今年他们刻蚀机的销售数量有所提高，但价格下降，折算下来今年在LED方面的营收与去年持平。
“设备卖的就是技术，等到大家都做出来市场早没了。”赵晋荣表示，北方微电子最近刚推出了ITO Sputter透明导电膜物理气相沉积设备和ALN高温溅射设备，都是革命性的新产品。
据赵晋荣介绍，ITO Sputter透明金属导电膜物理气相沉积设备代替蒸发工艺，亮度可以提高3~5%；新一代蓝宝石PSS刻蚀设备大大提高了整盘的刻蚀均匀性，底宽和高度的一致性大大提高，让MOCVD工艺的一致性更容易控制。
“使用ALN Sputter之后大大缩短了MOCVD的工艺时间，或许未来相当长的时间芯片厂又不需额外购买新的MOCVD设备，这才是设备厂应该做的事。”赵晋荣满是自豪。
【注：本文来源于高工LED旗下《LED研究评论》2014年1月刊(总第49期)，转载请事先取得转载协议，合法转载请参阅：高工LED版权维护——“反侵权行动”声明 ，否则将视为违规转载，本网将追究法律责任！】
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